「SEMICON JAPAN」 出展報告

2018.12.20

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電子システム工学科 六倉信喜教授、篠田宏之准教授の研究室が12月12日～12月14日に東京ビッグサイトで開催された 「SEMICON JAPAN（セミコン・ジャパン）」に出展しました。
六倉教授、篠田准教授の研究室では、各種化合物半導体単結晶層の多層薄膜の形成を目的とした「低コスト・マルチターゲット型スパッタエピタキシー装置」の開発を行っています。SEMICON JAPANでは、高品質化合物半導体単結晶層の成長を低コスト・低環境負荷で実現可能なスパッタエピタキシー装置について詳しく紹介しました。研究成果に興味をもつ企業や公的機関の方々にご来場いただき、とても賑わいました。